壓縮空氣露點儀
我選英國肖氏露點儀進口品牌17317608376
在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，超純氣體的水分含量是影響芯片良率與設(shè)備壽命的關(guān)鍵因素。英國肖氏SADP便攜式露點儀憑借其高精度、快速響應(yīng)及本質(zhì)安全特性，成為半導(dǎo)體工廠超純氣體水分檢測的核心工具。
半導(dǎo)體工藝中，氮氣、氬氣、氫氣等超純氣體的水分含量需控制在ppb級（如<10ppb）。例如，在化學(xué)氣相沉積（CVD）或蝕刻工藝中，氣體中的微量水分可能導(dǎo)致：英國肖氏SADP便攜式露點儀在半導(dǎo)體制造中超純氣體水分檢測應(yīng)用
薄膜缺陷：水分與前驅(qū)體反應(yīng)生成顆粒物，引發(fā)晶圓表面污染；
設(shè)備腐蝕：水分加速金屬部件氧化，縮短設(shè)備維護周期；
工藝波動：水分含量變化影響刻蝕速率或薄膜厚度均勻性。
因此，實時監(jiān)測超純氣體露點成為半導(dǎo)體產(chǎn)線質(zhì)量控制的必要環(huán)節(jié)。
高精度與寬量程
SADP系列露點儀采用氧化鋁電容傳感器，測量范圍覆蓋-100℃至+20℃露點，對應(yīng)水分濃度從ppb級（如-80℃露點對應(yīng)約0.1ppb）到ppm級。SADP-TR版本可擴展至0-10ppm低濃度測量，滿足不同工藝階段的需求。英國肖氏SADP便攜式露點儀在半導(dǎo)體制造中超純氣體水分檢測應(yīng)用
快速響應(yīng)與動態(tài)監(jiān)測
其響應(yīng)時間≤1秒，可實時捕捉氣體露點波動。例如，在氮氣純化系統(tǒng)切換或設(shè)備啟停時，SADP能快速響應(yīng)露點變化，避免因滯后導(dǎo)致的數(shù)據(jù)失真。
本質(zhì)安全與便攜性
SADP通過ATEX和IECEx認(rèn)證，適用于Class 1, Division 1等危險區(qū)域。其輕便設(shè)計（如配備肩帶的厚皮革套）便于在無塵室內(nèi)移動檢測，減少對產(chǎn)線的干擾。
數(shù)據(jù)可追溯與易用性
儀器配備大字符LCD顯示器，可同時顯示露點（℃/℉）和PPMv單位，并支持?jǐn)?shù)據(jù)記錄與導(dǎo)出。隨機附帶的校準(zhǔn)證書可追溯至國家和國際濕度標(biāo)準(zhǔn)，確保測量合規(guī)性。
氣體供應(yīng)系統(tǒng)驗證
在超純氣體鋼瓶或管道投用前，使用SADP檢測水分殘留。例如，對高純氬氣進行-90℃露點測試，確保其水分含量<0.5ppb。英國肖氏SADP便攜式露點儀在半導(dǎo)體制造中超純氣體水分檢測應(yīng)用
工藝設(shè)備在線監(jiān)測
將SADP與產(chǎn)線氣體管路連接，實時監(jiān)測CVD或ALD設(shè)備的進氣露點。例如，在硅烷（SiH?）氣體輸送過程中，若露點突然上升至-60℃，可能提示純化器失效，需立即停機檢修。
故障排查與預(yù)防性維護
當(dāng)產(chǎn)線出現(xiàn)良率下降時，使用SADP快速定位氣體水分異常。通過檢測蝕刻氣體中的水分波動，發(fā)現(xiàn)某批次氮氣因純化器再生不導(dǎo)致露點超標(biāo)，及時更換濾芯避免批量報廢。
相較于傳統(tǒng)冷鏡式露點儀，SADP的優(yōu)勢在于：
無需液氮制冷：冷鏡儀需依賴液氮維持低溫，而SADP采用氧化鋁傳感器，無需外部冷源，操作更安全；
抗污染能力強：半導(dǎo)體氣體中可能含微量腐蝕性雜質(zhì)，SADP的傳感器表面涂層可減少污染影響，延長校準(zhǔn)周期；英國肖氏SADP便攜式露點儀在半導(dǎo)體制造中超純氣體水分檢測應(yīng)用
成本效益高：單臺SADP價格約1-5萬元，遠(yuǎn)低于高精度冷鏡儀（通常>10萬元），且維護成本更低。
英國肖氏SADP便攜式露點儀以其高精度、快速響應(yīng)及本質(zhì)安全特性，契合半導(dǎo)體制造對超純氣體水分檢測的需求。無論是氣體供應(yīng)驗證、工藝設(shè)備監(jiān)測還是故障排查，SADP均能提供可靠數(shù)據(jù)支持，助力半導(dǎo)體工廠提升良率、降低維護成本。隨著芯片制程向3nm及以下推進，SADP的技術(shù)價值將進一步凸顯。
聯(lián)系人：劉女士
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